| Luminous Series ME4100-VC/ Dr.Fine X Series MV3100-VC |
| 概要 |
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リフロー後のBGA接合などを評価する際に、マイクロフォーカスX線透過検査装置による斜め方向からの観察の要求が高まっています。
MV3100−VCでは、1つの照射ボックスの中に、垂直と傾斜方向の2カ所にX線デジタルカメラを配置しました。異なる2方向のX線透視画像をワンクリックで切り替えて表示することが出来ますので、傾斜機構付き装置に見られるステージの補正が必要無く、簡単にスピーディーな観察を行うことが出来ます。
ME4100−VCでは、イメージングインテンシファイアを垂直位置に備え、傾斜方向のX線デジタルカメラはありませんが、θ回転装置が標準でついています。θ回転装置は360°回転させることが出来ますので、サンプルをあらゆる角度から観察することが出来ます。
| 画像 |
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| 直上位置 | 傾斜位置 | |
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| ワイヤー流れ率計測 | ||
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| BGA 3D輝度プロファイル | ||
| 主な仕様 |
| ME4100−VC | MV3100−VC | ||
| X線発生装置 | 最大管電圧 最大管電流 |
100kV / 0.25mA | |
| 最大出力 | 10W | ||
| ウォームアップ | 自動 | ||
| X線制御 | PC | ||
| X線ディテクタ | ディテクタ数 | 1式 | 2枚 |
| 方式 | イメージングインテンシファイア | CMOSデジタルフラットパネル | |
| 撮像エリア | 2-4inch 切替 | 52.8×52.8mm | |
| 幾何学的拡大率 | 約 × 84 | ||
| 総画素数 | 約38万ピクセル | 約100万ピクセル (最小ピクセル寸法:50×50μm) |
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| 出力階調 | 8bit : 256階調 | 12bit : 4096階調 | |
| PIA-Soft CS | PC/OS | Windows XP | |
| ディスプレイ | 17インチ | 19インチ | |
| 画像処理機能 | コントラスト・ブライト調整、ガンマ補正、 輪郭強調、ヒストグラム作成、拡大・縮小、他 |
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| 画像計測機能 | ボイド面積率、ワイヤー流れ率、距離計測、 輝度データ3D表示、他 |
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| サンプルスキャナ | ステージ操作 | 自動運転、ステップ操作、ピッチ送り、 マトリックス設定、他 |
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| X−Y−Z軸 ストローク |
300×300×680mm | 300×230×680mm | |
| θ軸回転装置 | 360°正転逆転 | 無 | |
| 照射ボックス | X線漏洩線量 | 1μSv/h以下 | |
| インターロック* | 有 | ||
| 外形寸法 | W790×D1045×H1775mm | ||
| 重量 | 約750kg | ||
| 電源 | AC50/60Hz 100V 10A | ||