Luminous Series ME4100-VC/
             Dr.Fine X Series MV3100-VC
  
 概要

 リフロー後のBGA接合などを評価する際に、マイクロフォーカスX線透過検査装置による斜め方向からの観察の要求が高まっています。
 MV3100−VCでは、1つの照射ボックスの中に、垂直と傾斜方向の2カ所にX線デジタルカメラを配置しました。異なる2方向のX線透視画像をワンクリックで切り替えて表示することが出来ますので、傾斜機構付き装置に見られるステージの補正が必要無く、簡単にスピーディーな観察を行うことが出来ます。
 ME4100−VCでは、イメージングインテンシファイアを垂直位置に備え、傾斜方向のX線デジタルカメラはありませんが、θ回転装置が標準でついています。θ回転装置は360°回転させることが出来ますので、サンプルをあらゆる角度から観察することが出来ます。


 画像

直上位置 傾斜位置
ワイヤー流れ率計測
BGA 3D輝度プロファイル


 主な仕様

  ME4100−VC MV3100−VC
X線発生装置 最大管電圧
最大管電流
100kV / 0.25mA
最大出力 10W
ウォームアップ 自動
X線制御 PC
X線ディテクタ ディテクタ数 1式 2枚
方式 イメージングインテンシファイア CMOSデジタルフラットパネル
撮像エリア 2-4inch 切替 52.8×52.8mm
幾何学的拡大率 約 × 84
総画素数 約38万ピクセル 約100万ピクセル
(最小ピクセル寸法:50×50μm)
出力階調 8bit : 256階調 12bit : 4096階調
PIA-Soft CS PC/OS Windows XP
ディスプレイ 17インチ 19インチ
画像処理機能 コントラスト・ブライト調整、ガンマ補正、
輪郭強調、ヒストグラム作成、拡大・縮小、他
画像計測機能 ボイド面積率、ワイヤー流れ率、距離計測、
輝度データ3D表示、他
サンプルスキャナ ステージ操作 自動運転、ステップ操作、ピッチ送り、
マトリックス設定、他
X−Y−Z軸
ストローク
300×300×680mm 300×230×680mm
θ軸回転装置 360°正転逆転
照射ボックス X線漏洩線量 1μSv/h以下
インターロック*
外形寸法 W790×D1045×H1775mm
重量 約750kg
電源 AC50/60Hz 100V 10A
* 照射ボックスの扉が閉じられた状態でなければX線は照射されません。
●仕様、外観などは予告なしに変更することがあります。
●本製品は外国為替及び外国貿易管理法の定める戦略物資に該当する恐れがあります。輸出または国外に持ち出す場合は、同法に基づく日本国政府の輸出許可が必要となるときがあります。
●X線発生器、X線ディテクタ、照射ボックスの組み合わせを、ご希望によりシステムアップすることができます。
●記載の企業名、製品名は一般に各社の商標または登録商標です。
※プリンタは付属しません。
※PCおよびモニタは写真と異なる場合があります。

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