| Dr.Fine X Series MC3110-D/MC3160-D |
| 概要 |
開放管式マイクロフォーカスX線発生装置(110kVまたは160kV)に、新開発の直接変換方式X線カメラ(SID−A50)を組み合わせました。
SID−A50はX線感度が高いので、開放管型X線発生器と組み合わせても鮮明なリアルタイム画像を得ることができます。
X線カメラを0〜60°傾斜すると共に、360°回転することができ、サンプルを様々な角度から高倍率で観察することが可能ですので、解析用途に最善の装置です。
画像の取込、画質改善や計測、サンプルスキャナの制御、X線出力の調整など、全ての操作を”PIA−Soft”で行なうことが出来ます。PIA−SoftはWindowsベースですので、全てをマウスで簡単に操作することが出来ます。
| 画像 |
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| BGA接合面のクラック | ボイド率計測 | |
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| BGA接合面のボイド | 3D輝度プロファイル |
| 主な仕様 |
| MC3110−D | MC3160−D | ||
| X線発生装置 | 最大管電圧 最大管電流 |
110kV / 0.20mA | 160kV / 0.20mA |
| 最小焦点寸法 | 3μm | 1μm | |
| X線カメラ | 幾何学的拡大率 | 約 × 1000 | |
| PIA-Soft CS | PC/OS | Windows XP | |
| ディスプレイ | 19インチ液晶モニタ | ||
| 画像処理機能 | コントラスト・ブライト調整、ガンマ補正、 輪郭強調、ヒストグラム作成、拡大・縮小、他 |
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| 画像計測機能 | ボイド面積率、ワイヤー流れ率、距離計測、 輝度データ3D表示、他 |
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| ステージ操作 | 自動運転、ステップ操作、ピッチ送り、 マトリックス設定、他 |
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| サンプルスキャナ | X−Y−Z軸 ストローク |
400 - 500 - 150mm | |
| 傾斜角度 | 0〜60度 | ||
| 旋回角度 | 0〜360度 | ||
| 照射ボックス | X線漏洩線量 | 1μSv/h以下 | |
| インターロック* | 有 | ||
| 外形寸法 | W1400×D1520×H1780mm | ||
| 重量 | 約1800kg | ||
| 電源 | AC50/60Hz 200V 20A | ||